⒈ 成飞散的点滴地喷或射出。
英spatter; sputtering;
⒉ 由于重离子碰撞，原子或原子团从金属表面喷射出来。
1、枪是一种先进的真空溅射镀膜器件，可用于进行多种真空镀膜工艺。
2、采用氢离子溅射和射线光电子能谱相结合的方法，检测焦磷酸盐镀铜层和铁基体界面区含氧量的变化，证明了氧化层的存在。
3、反应溅射中氧分压对薄膜的影响也很大，较高的氧气分压有助于较好结晶的二氧化钛薄膜的生成。
